Ионная и фотонная обработка материалов / Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич

Описание и характеристики Ионная и фотонная обработка материалов / Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.

Для приобретения Ионная и фотонная обработка материалов / Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич от «Вышэйшая школа» арт. 4863952 выберите желаемое количество единиц и кликните на красную кнопку "Купить". Далее товар будет перемещён в корзину. После выбора всех выбранных позиций перейдите в корзину в правом верхнем углу страницы и завершите оформление заказа. При оформлении вам будет предложено выбрать способ доставки Ионная и фотонная обработка материалов / Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич в Омске и Омской области и оплаты из доступных вариантов.