Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич

Описание и характеристики Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Для приобретения Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич от «Инфра-Инженерия» арт. 3648254 выберите желаемое количество единиц и кликните на красную кнопку "Купить". Далее товар будет перемещён в корзину. После выбора всех выбранных позиций перейдите в корзину в правом верхнем углу страницы и завершите оформление заказа. При оформлении вам будет предложено выбрать способ доставки Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие / Родионов Юрий Анатольевич в Омске и Омской области и оплаты из доступных вариантов.