Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов / Родионов Ю.А.

Описание и характеристики Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов / Родионов Ю.А.

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Для приобретения Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов / Родионов Ю.А. от «Лань» арт. 4449313 выберите желаемое количество единиц и кликните на красную кнопку "Купить". Далее товар будет перемещён в корзину. После выбора всех выбранных позиций перейдите в корзину в правом верхнем углу страницы и завершите оформление заказа. При оформлении вам будет предложено выбрать способ доставки Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов / Родионов Ю.А. в Омске и Омской области и оплаты из доступных вариантов.